39 EUV光刻机（3 / 7）

刻机通快高功率CO2激光器金刚石窗口制造能力》（II-VIIncorporatedExpandsManufacturingCapacityofDiamondWindowsforTRUMPFHighPowerCO2LasersinEUVLithography），世通社，2018年12月19日，https://www.globenewswire.com/newsrelease/2018/12/19/1669962/11543/en/II-VI-Incorporated-Expands-Manufacturing-Capacity-of-Diamond-Windows-for-TRUMPF-High-Power-CO2-Lasers-in-EUV-Lithography.html。每步都需要创新。激光室中特殊气体必须保持恒定密度。锡滴本身能够反射光，反射光有可能进入激光系统形成干扰。为防止这种情况出现，激光系统需要特殊光学部件。通快需要工业钻石来提供激光离开腔室“窗口”，必须与合作伙伴合作开发新超纯钻石。通快花十年时间来应对这些挑战，生产出功率和可靠性都足够激光器。每台光源需要整整457329个部件。

在西盟和通快找到种方法来轰击锡并使其发出足够强EUV后，下步是制作反射镜，收集光并将其指向硅芯片。制造世界上最先进光学系统德国公司蔡司自珀金埃尔默和GCA成立以来，就为光刻系统制造反射镜和透镜。但过去使用光学部件与EUV所需光学部件之间差异，大约与莱思罗普灯泡和西盟锡滴喷射系统之间差异样巨大。

C.蒙特卡姆（C.Montcalm），《极紫外线光刻多层反射涂层》（MultilayerRelectiveCoatingsforExtreme-UltravioletLi