片制造商希望印在芯片上图案投射光线。要想形成图形“X”,阿斯麦需要使用形状非常不同图案,但当光到达硅晶圆后,最终会产生“X”。
作为最终产品,芯片之所以能够可靠地工作,是因为它只有个部件——块覆盖着其他金属硅。芯片中没有运动部件,除非你算上芯片内部运动电子。但生产先进半导体依赖于些迄今为止最复杂机器。阿斯麦EUV光刻机是历史上最昂贵大规模生产机器,其复杂程度非常高。如果没有阿斯麦工作人员充分培训,其他公司就不可能使用阿斯麦EUV光刻机,阿斯麦工作人员在设备整个使用寿命期间都会留在现场。每个EUV光刻机侧面都有个阿斯麦徽标。但阿斯麦欣然承认,阿斯麦专长是能够协调个由光学专家、软件设计师、激光公司和许多其他人组成网络,这些人能力是实现EUV光刻机梦想所必需。
《通快通过激光交易整合EUV光刻供应链》(TrumpfConsolidatesEUVLithographySupplyChainwithAccessLaserDeal),2017年10月4日,
格鲁夫问过约翰·卡拉瑟斯个问题:“它能行吗?”然后,格鲁夫将他第笔2亿美元投资于EUV光刻机。经过30年时间、累积数百亿美元投资、系列技术创新,以及世界上最复杂供应链建立,到2015年左右,阿斯麦EUV光刻机终于准备好部署到世界上最先进芯片制造厂。
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