迪伦·麦克格斯(DylanMcGrath),《英特尔再次减持阿斯麦股份》(IntelAgainCutsStakeinASML),《电子工程专辑》英文版,2018年10月12日。苹果并不是半导体行业中唯一拥有令人困惑的复杂供应链的公司。到2010年末,荷兰光刻机公司阿斯麦已经花了近20年的时间试图使极紫外光刻发挥作用。要做到这一点,阿斯麦就需要在世界上搜寻最先进的部件、最纯净的金属、最强大的激光器和最精确的传感器。EUV光刻机是我们这个时代最大的技术赌注之一。2012年,在阿斯麦生产出功能性EUV光刻机之前的几年,英特尔、三星和台积电都直接投资于阿斯麦,以确保其拥有足够的资金继续开发未来芯片制造能力所需的EUV光刻机。2012年,仅英特尔就向阿斯麦投资了40亿美元。这是该公司有史以来最大的赌注之一。此前,英特尔在EUV光刻机上投入了数十亿美元的赠款和资金,可追溯到安迪·格鲁夫时代。
采访约翰·泰勒,2021年。EUV光刻机背后的想法,正如一位参与该项目的科学家所说的,与英特尔和其他芯片公司组成的财团,当年给几个国家实验室提供“无限资金去解决一个不可能解决的问题”时,没有什么不同。这个概念与杰伊·莱思罗普的倒置显微镜基本相同:通过使用掩模来阻挡部分光线,从而形成光波图案,然后投射到硅片上的光刻胶上。光与光刻胶反应,使材料沉积或蚀刻成完美形状成为可能,从而完成芯片制造。
莱思罗普使用了简单的可见光和柯达生产的现成光刻胶。通过使用更复杂的透镜和化学物质,人们最终可以在硅片上刻出几百纳米尺寸的形状。可见光的波长本身是几百纳米,这取决于颜色,因此随着晶体管越来越小,它最终面临着极限。该行业后来转向波长为248纳米和193纳米的紫外光,紫外光相比可见光可以更精确地雕刻出图形。但这还不够,因此人们将希望寄托在波长为13.5纳米的极紫外光上。
使用EUV带来了新的困难,事实证明这个困难几乎不可能得到解决。在莱思罗普使用显微镜、可见光和柯达生产的光刻胶的地方,所有关键的EUV光刻机部件都必须专门制作,你不能简单地买一个EUV灯泡。要想产生足够的EUV,需要用激光轰击一个小锡球。西盟(Cymer)是由加州大学圣地亚哥分校的两位激光专家创立的公司,自20世纪80年代以来一直是光刻光源领域的主要参与者。该公司的工程师们意识到,最好的方法是以大约每小时200英里的速度