克莱顿·琼斯(ClaytonJones),《计算机化激光快速制造微芯片电路》(ComputerizedLaserSwiftlyCarvesCircuitsforMicrochips),《基督教科学箴言报》(ChristianScienceMonitor),1981年3月10日。大卫·桑格(DavidSanger),《对小GCA的巨大担忧》(BigWorriesOverSmallGCA),《纽约时报》,1987年1月19日。莱斯利·柏林,《微芯片背后的人》,第94、119页。感谢克里斯·麦克给我指出这一点。当日本巨头撕裂美国高科技产业时,不仅仅是生产DRAM芯片的公司陷入困境,它们的许多供应商也面临同样问题。1981年,被誉为美国“最热门的高科技公司”之一的GCA(美国地球物理公司),通过销售使摩尔定律成为可能的设备而迅速发展。自从物理学家杰伊·莱思罗普首次将显微镜颠倒过来照射光刻胶,并在半导体晶圆上制作图案以来的20年里,光刻过程变得十分复杂。罗伯特·诺伊斯开着老爷车在加利福尼亚州101号公路上来回行驶,为仙童的临时照相设备寻找电影相机镜头的日子早已一去不复返了。现在,光刻技术是一门大生意,20世纪80年代初,GCA处于领先地位。
尽管光刻技术已经比当时莱思罗普的倒置显微镜精确得多,但原理仍然不变。光线穿过掩模和透镜,将聚焦的形状投射到涂有光刻胶的硅片上。在光线照射的地方,化学物质与光发生反应,然后被溶解,,bao露出硅片上的微小凹痕,以去除凹痕下面的材料,或者淀积某种新的材料,再用特殊溶液去除剩余的光刻胶,最终让具有完美凹痕形状的新材料留在硅片上。这个光刻过程通常需要五次、十次或几十次,通过沉积、蚀刻和抛光才能制造出集成电路。每一次光刻都需要与上一次严格对准。随着晶体管的小型化,光刻工艺涉及的每一部分,从化学物质到透镜,再到使硅片与光源完美对准的激光器,都变得更加困难。
采访克里斯·麦克,2021年。采访戴夫·马克尔,2021年。珀金·埃尔默,《Micralign投影掩模对准系统》(MicralignProjectionMaskAlignmentSystem),芯片历史中心,