与杰伊·莱思罗普的通信,2021年。采访沃尔特·卡德韦尔,2021年。采访约翰·高迪,2021年。杰伊·莱思罗普和詹姆斯·纳尔,“半导体构造”(SemiconductorConstruction),美国2890395A号专利,于1957年10月31日提交,1959年6月9日发布,https://patentimages.storage.googleapis.com/e2/4d/4b/8d90caa48db31b/US2890395.pdf。杰伊·莱思罗普,《钻石条例引信实验室的微电路光刻方法》(TheDiamondOrdinanceFuzeLaboratory'sPhotolithographicApproachtoMicrocircuits),《IEEE计算史纪事》,第35卷,第1期,2013年,第48-55页。1958年9月1日,杰伊·莱思罗普驶入TI的停车场,开始他第一天的工作。此时,杰克·基尔比在TI的实验室里度过的对未来有重大影响的夏日假期快要结束了。莱思罗普从麻省理工学院毕业后,与罗伯特·诺伊斯共事过。他曾在美国z.府实验室工作,负责设计一种近炸引信,使81毫米迫击炮弹能够在目标上方自动引爆。和仙童的工程师一样,他也在努力研制台面晶体管,但事实证明,这种晶体管很难小型化。现有的制造工艺包括在半导体材料的某些部位放置特殊形状的蜡球,然后使用专用化学品腐蚀未覆盖的部分。制造更小的晶体管需要更小的蜡球,但控制这些蜡球的形状很困难。
在通过显微镜观察其中一个晶体管时,莱思罗普和他的助手——化学家詹姆斯·纳尔(JamesNall)有了一个想法:显微镜镜头可以拍摄一些小东西,让它们看起来更大。如果把显微镜颠倒过来,这些小东西看起来就更小。他们能用镜头把一个大图案“印”到锗上,从而在锗块上制作微型台面吗?相机公司柯达(Kodak)出售了一种叫作光致抗蚀剂的化学物质(俗称“光刻胶”),这种物质在受到光照时会发生化学变化。
莱思罗普用柯达的光刻胶涂在一块锗上。接下来,他将显微镜颠倒过来,用一个矩形图案覆盖目镜,这样光线就只能穿过一个