“方案可行。”
组装、封装，启动激光器，紫色激光发射，击中模拟锡液滴，高强度等离子体发出euv光源被收集镜捕获汇聚形成光源，光源集中、传递至光刻系统，经光刻系统
系列步骤曝光晶片。
euv光源系统现实工作，激光发射击中锡液滴这过程是每秒五万次，而在仿真建模中，为方便观察，数据比例修改后变成肉眼可观测。
仿真建模观测小时后，放大雕刻后
晶片，宛如个个充满未来感城市。
杜颂吞咽口水，紧张问：“怎
样？”
雷客屏住呼吸：“仿真实验结果和当初预料结果致，如无意外，方案可行。”
：“资金支持吗？”
“……”张群芳：“有这缺钱？”
盛明安：“缺研发资金。”
如果盛明安站在跟前，张群芳估计得对着他指指点点，他没好气说：“只要是正儿八经搞科研，有成果，经费肯定会拨下来。”
盛明安弯起眼：“谢谢教授。”
身后传来阵激动欢呼声，不过很快压下来，众人纷纷看向没开口盛明安，他才是实验室主心骨，他点头
才算实验成功！
但不可避免，他们此刻心脏仿佛被吊到嗓子眼，紧张得几乎不能呼吸。
无他，因为眼前仿真建模是他们耗费三年、将近四年成果！
无数日夜数据优化、改进，从光源系统到光刻系统，从激光器到复杂双工作台，从反射镜到晶圆等部件材料，海量数据和磅礴公式计算，千多个日夜心血全数系在这刻！
盛明安盯着右手边光屏，那是光源优化仿真实验结果，结果表明优化后光源图形和收敛曲线与预料致，说明——
张群芳：“没什事
挂。”
盛明安：“教授再见。”
通话结束，之后还有潘教授、朱教授等人打电话安慰盛明安，足见他们有多关心这棵天才苗子。
***
蓝河科技研发部，尘不染恒温实验室内，盛明安位于主位，身后是雷客、杜颂等人，他们都穿着白色防尘衣，攥紧拳头牢牢盯住屏幕光刻机仿真建模。
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